| 钛酸锶钡纳米管阵列薄膜的水热合成及其性能研究 |
| 钟志有;陆轴;龙路;顾锦华;龙浩; |
| 关键词：氧化锌薄膜;射频磁控溅射;微观结构 |
| 主要内容：采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备钛镓合掺氧化锌(TGZO)半导体薄膜,通过XRD、XPS、四探针和透射光谱等方法测试表征,研究了衬底温度对薄膜微观结构、晶粒生长和光电综合性能的影响。结果表明:TGZO薄膜具有高度的c轴择优取向生长特性,其微观结构和光电性能与衬底温度密切相 |
| 《化工新型材料》 2016(8).62-65 |
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