| 碳含量对NbVCN薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响 |
| 胡红霞;鞠洪博;许俊华; |
| 关键词：NbVCN薄膜;微观结构;力学性能;摩擦磨损性能 |
| 主要内容：采用磁控溅射法制备了不同C含量的NbVCN薄膜,研究了C含量对NbVCN薄膜微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响。结果表明:四元NbVCN薄膜微观结构受C含量影响显著,当C含量小于6.3%,薄膜为fcc-NbN+hcp-NbN两相共存;随含量的进一步升高,薄膜中出现非晶石墨相,此时薄膜三相共存,为fc |
| 《真空科学与技术学报》 2016(1).80-85 |
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