| 碳热还原氮化制度对TiN薄膜制备影响的研究 |
| 董占亮;王瑞生;魏颖娜;魏恒勇;于云;卜景龙;崔燚; |
| 关键词：碳热还原氮化;氮化钛;薄膜 |
| 主要内容：以四氯化钛乙醇溶液为钛源,聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为碳源,采用碳热还原氮化技术制备氮化钛薄膜。利用XRD、FE-SEM和UV-VIS-NIR研究了合成温度和保温时间对氮化钛薄膜显微结构和光学性能的影响。结果表明,当合成温度为1250℃时,薄膜物相仍为金红石型TiO_2和Ti_3O_5;合成温度为13 |
| 《中国陶瓷》 2016(2).21-25 |
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