| 羰基和砜基共交联磺化聚酰亚胺质子交换膜的高温燃料电池性能及各向异性 |
| 陈义;汪建华;翁俊;孙祁;吴骁;刘辉;刘繁; |
| 关键词：微波等离子体;化学气相沉积;CO2;金刚石膜 |
| 主要内容：采用微波等离子体化学气相沉积法,以H_2/CH_4/CO_2为混合气源,通过改变气源碳氧比,探讨了碳氧比对金刚石薄膜生长的影响。利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和Raman光谱表征金刚石薄膜的表面形貌、晶粒取向和结晶质量。结果表明,随着C/O比的降低,金刚石膜表面形貌由原来 |
| 《真空与低温》 2016(4).237-240 |
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