| 铁电薄膜光伏效应研究进展 |
| 周广宏;王湘鸣;印凤;庄国志;夏木建;丁红燕; |
| 关键词：Ti/TiB_2多层膜;调制周期;力学性能 |
| 主要内容：采用磁控溅射法制备了Ti/TiB_2周期性(T=2,3,4,6,12)多层膜,利用X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜分析了薄膜的相结构和表面(断面)形貌,采用纳米压痕仪、多功能摩擦摩损试验机和显微硬度计研究了多层膜的纳米硬度、弹性模量、膜基结合力以及断裂韧性。结果表明:Ti/TiB_2多层? |
| 《稀有金属材料与工程》 2016(2).498-502 |
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