| 透明多孔氧化锌薄膜的制备及其光学性能的研究 |
| 王凤起;符春林;蔡苇;高荣礼; |
| 关键词：铜铟镓硒;太阳能电池;综述;薄膜;磁控溅射;工艺优化 |
| 主要内容：铜铟镓硒(Cu(In_xGa_(1–x))Se_2,CIGS)薄膜是目前备受关注的一种太阳能电池材料,磁控溅射是其重要的制备方法。本文从溅射工艺(衬底温度、溅射功率、工作气压)和组成调控(硒含量、Ga梯度)两个方面简述了关于磁控溅射CIGS薄膜的研究进展(尤其是对其光伏性能的调控),提出了提高C |
| 《电子元件与材料》 2016(11).49-53 |
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