| 退火处理对(FeCo)_Cu多层膜巨磁电阻及电磁性能的影响 |
| 赵霞妍;黄天环;何旻雁;李林;成钢;程维平; |
| 关键词：(FeCo)/Cu多层膜;退火处理;巨磁电阻效应;电磁性能 |
| 主要内容：采用直流磁控溅射法制备Ta/[(Fe89.6Co10.4)0.76 nm/Cu1.2 nm]25多层膜,X射线衍射试验结果表明,退火处理提高了薄膜的结晶度,退火温度达到550℃时,薄膜中发生Fe Co和Cu的相分离;AFM测试表明增加Ta缓冲层后可有效地降低薄膜的粗糙度;巨磁电阻(GMR)效应测量结 |
| 《电工材料》 2016(3).11-14+19 |
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