| 退火处理对ZnO薄膜压敏性能的影响 |
| 张骏;刘胜利;王海云;程杰; |
| 关键词：MgO薄膜;退火处理;光学特性;磁控溅射 |
| 主要内容：采用磁控溅射法在石英衬底上制备了MgO薄膜并分别在不同温度下进行退火处理。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了MgO薄膜的结构和表面形貌随退火温度的变化,发现退火可以改善薄膜的结晶质量,即随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大,结晶性能更佳,表面更加平整。? |
| 《材料导报》 2016(4).61-64+80 |
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