| 退火时间对BNT-BT6薄膜微结构及压电性能的影响 |
| 李秦;檀柏梅;张建新;牛新环;高宝红;田会娟; |
| 关键词：铋/碲多层薄膜;退火时间;微观结构;热电性能;磁控溅射 |
| 主要内容：采用磁控溅射法在玻璃衬底上室温沉积厚度不同的Bi/Te多层薄膜,在氩气保护下对薄膜在150℃进行不同时间退火处理,研究了退火时间对Bi/Te多层薄膜物相组成、微观形貌、表面粗糙度和热电性能的影响。结果表明:退火过程使Bi、Te原子在相邻单质层界面上产生了强烈的扩散反应,生成以 |
| 《硅酸盐学报》 2016(1).95-103 |
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