| 退火时间对BNT-BT6薄膜微结构及压电性能的影响 |
| 韩昊;詹科;王现英;郑学军; |
| 关键词：薄膜;溶胶-凝胶法;退火时间;压电性能 |
| 主要内容：采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel)在Pt/Ti/SiO2/Si(100)衬底上制备了0.94(Na0.5Bi0.5)TiO3-0.06BaTiO3(BNT-BT6)薄膜,研究了不同退火时间对其微结构和压电性能的影响。X射线衍射(XRD)结果表明,制备的BNTBT6薄膜为钙钛矿型铁电薄膜,随着退火时间 |
| 《材料导报》 2016(6).42896 |
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