| 退火温度对磁控溅射TiO_2薄膜相变的影响 |
| 申振; |
| 关键词：退火温度;氧化锌薄膜;磁控溅射 |
| 主要内容：氧化锌是直接带隙半导体材料,禁带较宽,激子束缚能很高。本文采用射频磁控溅射制备氧化锌薄膜,并在不同温度下进行退火处理。使用光致发光光谱、X射线衍射等表征氧化锌薄膜发光特性、结晶性质。研究结果表明,退火温度的升高,高温下退火处理能够使氧化锌薄膜更好的发光、再结晶? |
| 《科技展望》 2016(6).195 |
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