| 退火温度对多铁性YFeO_3薄膜的结构、光学及磁学性能的影响 |
| 梅海林;唐立丹;王冰;梅思涵; |
| 关键词：TiO2薄膜;磁控溅射;锐钛矿;金红石;退火温度 |
| 主要内容：利用射频磁控溅射制备了TiO_2薄膜,通过X射线衍射仪、扫描电镜、四探针等手段对薄膜进行了表征,研究了氩气气氛下退火温度对TiO_2薄膜的形貌、结构和电学性能的影响。研究结果表明,氩气气氛下600℃退火的TiO_2薄膜颗粒大小均匀,表面结构致密。400~600℃退火时薄膜为单一的锐钛? |
| 《稀有金属与硬质合金》 2016(5).60-63 |
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