| 微反应器法制备ZnAl-LDH纳米片及LDH基疏水膜的组装 |
| 张健;巴德纯;刘坤;杜广煜; |
| 关键词：线性微波化学气相沉积;氧化铝薄膜;少子寿命;微波功率;温度 |
| 主要内容：AlO_x薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用最新研发的微波等离子增强化学气相沉积(MW-PECVD)系统,在单晶硅基体上用不同微波功率和生长温度制备氧化铝膜层样品,并通过扫描电镜、SE800椭偏仪和WT2000少子寿命测量仪对薄膜的成分、表面形貌、 |
| 《真空科学与技术学报》 2016(5).529-533 |
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