| 香蕉假茎液化物_聚醋酸乙烯酯共混膜的制备与性能 |
| 张健;巴德纯;张振厚;赵崇凌; |
| 关键词：线性微波化学气相沉积;氧化铝薄膜;氮化硅薄膜;有效少子寿命 |
| 主要内容：通过线性微波化学气相沉积技术在P型单晶样品上制备了AlO_x/SiN_x双层薄膜,采用场发射电子扫描显微镜、光学椭圆偏振仪器、有效少子寿命测量仪对实验样品进行了表征和分析。结果表明,线性微波化学气相沉积技术可以制备出高生长速度、高质量的AlO_x薄膜和SiN_x薄膜,AlO_x薄膜生r |
| 《真空》 2016(3).42927 |
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