| 镶嵌有纳米硅的SiN_x薄膜光致发光的温度依赖特性研究 |
| 梅艳;贾曦;安彩虹;完继光;徐艳梅; |
| 关键词：红外光谱;纳米晶硅;氧化硅;键合结构 |
| 主要内容：采用等离子体化学气相沉积(PECVD)技术在不同N_2O流量条件下制备了镶嵌有纳米晶硅(nc-Si)的富硅氧化硅(SiOx)薄膜,利用透射电镜(TEM),X射线衍射分析(XRD),傅里叶变换红外(FTIR)和透射光谱技术研究了薄膜中的氢含量和氧含量变化及其对薄膜晶化度、薄膜键合结构和光吸收特性的影? |
| 《材料科学与工程学报》 2016(5).776-779+793 |
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