| 旋涂法制备紫外荧光增强薄膜几种溶剂的比较 |
| 翁俊;刘繁;孙祁;王小安;黄平;周璐;吴骁;汪建华; |
| 关键词：金刚石膜;形核密度;氢等离子体;微波等离子体;化学气相沉积 |
| 主要内容：本实验利用2kW微波等离子体化学气相沉积(CVD)设备,系统探究了不同形核密度和氢等离子体处理对CVD金刚石膜沉积的影响。利用扫描电镜、X射线衍射和Raman光谱对样品的形貌、结构和质量进行了表征,结果表明:形核密度越低,金刚石膜的晶粒尺寸越大,且随着时间的延长,较低形核密度和 |
| 《真空电子技术》 2016(3).35-39 |
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