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亚稳态硫化锰薄膜的制备及特性综述

卢伟胜;

关键词：硫化锰;亚稳态;薄膜;制备工艺;材料特性

主要内容：亚稳态硫化锰薄膜在短波长光电子器件中有着潜在的应用价值。由于高质量的亚稳态Mn S薄膜难以制备,所以对其制备工艺进行相当多的研究。为了全面了解亚稳态Mn S薄膜材料,对其的制备工艺及材料特性进行综述。

《中国锰业》 2016(3).99-104

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