| 氩气流量对(a-C_Fe)_Al_2O_3_Si异质结太阳能电池光伏效应的影响研究 |
| 向然;谭新玉;姜礼华;肖业权; |
| 关键词：氩气流量;非晶碳薄膜;光伏效应;异质结;磁控溅射 |
| 主要内容：采用射频磁控溅射法在n-Si(100)衬底上依次沉积氧化铝膜(Al2O3)和铁掺杂非晶碳薄膜(aC:Fe),制成(a-C:Fe)/Al2O3/Si异质结太阳能电池,研究了氩气流量对光伏性能的影响.在20sccm到40sccm范围内调节氩气流量,结果表明,氩气流量的大小对异质结太阳能电池的光伏性能有显 |
| 《三峡大学学报(自然科学版)》 2016(2).83-87 |
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