| 氩气流量对多元掺杂ZnO薄膜性能的影响 |
| 段光申;丁春华;姜宏;汪国庆;彭国强;冯建; |
| 关键词：氩气流量;射频磁控溅射;多元掺杂ZnO薄膜;光电性能 |
| 主要内容：采用射频磁控溅射的方法在玻璃基底上用掺杂浓度为1%(质量分数)Al_2O_3,1%(质量分数)SiO2,1%(质量分数)石墨烯的陶瓷靶材制备出了多元掺杂氧化锌(ZnO∶Al∶Si∶GNP,GASZO)透明导电薄膜。利用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析,研 |
| 《材料导报》 2016(S2).425-428 |
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