| 氧化锌薄膜制备方法及其性能分析 |
| 陈畅子;姜海翔; |
| 关键词：氧化物薄膜;计算机模拟;薄膜生长;分子动力学;生长模式;金属薄膜;第一性原理;速率方程;生长机制;蒙 |
| 主要内容：目前关于计算机模拟薄膜的生长的报道主要是以单金属薄膜的生长和多元化合物为主,而氧化物薄膜模拟报道很少。本文基于传统公认薄膜生长过程,介绍了氧化物薄膜的生长模式。同时,介绍了氧化物薄膜的影响因数和计算机模拟氧化物薄膜生长的三种主要方法及其应用特点,包括了速率方? |
| 《内江科技》 2016(3).52-53 |
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