| 用β二酮类金属有机前驱体原子层沉积金属薄膜 |
| 许佳;徐家云;马小军;宋佳玲;黎刚;张敏超;王力; |
| 关键词：α粒子;能量损失;真空度确定方法;薄膜厚度 |
| 主要内容：用α能损法测量薄膜厚度及其厚度分布的均匀性是一种有效的新方法,但这种测量必须在真空室内进行,如何恰当地选择真空度对于提高测量精度和降低真空系统的建造成本都具有重要意义。通过采用SRIM软件模拟5.486 MeVα粒子在空气中的阻止本领,计算出在不同真空度时,从241Am源发出P |
| 《强激光与粒子束》 2016(8).123-127 |
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