| 用明胶改善水性聚氨酯膜性能的研究 |
| 曲有志;贾毅;张柏诚;汤文辉;杨长伟;夏洋;姚树玉; |
| 关键词：β二酮类金属有机前驱体;原子层沉积;金属薄膜 |
| 主要内容：在现代纳米科技中,三维共形沉积金属薄膜或金属纳米结构,在微电子、光电子、磁存储和催化等多个领域有着广泛的应用前景。本文以β二酮类金属有机前驱体(乙酰丙酮、氟化的乙酰丙酮),采用原子层沉积(ALD)的方法在硅片和石英玻璃上沉积贵金属(Ir、Pd、Pt)和过渡金属(Cu)。采取X射 |
| 《材料保护》 2016(S1).14-18 |
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