| 用于低温生长石墨烯的微波等离子体辅助化学气相沉积系统 |
| 陈鑫耀; |
| 关键词：化学气相沉积;微波等离子体;石墨烯薄膜 |
| 主要内容：化学气相沉积(CVD)是一种重要的薄膜制备工艺,其中微波等离子体辅助化学气相沉积(MP-CVD)被广泛用于制备纳米功能薄膜、硬质薄膜和光学薄膜.介绍一种普适型2.45 GHz微波的MP-CVD系统,包括硬件配置、自动控制软件等,并采用该系统在低温条件下制备高质量石墨烯薄膜. |
| 《湖北文理学院学报》 2016(11).35-38 |
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