| 载荷对氟硅共掺杂类金刚石膜摩擦学性能的影响 |
| 周成虎;张秋慧;黄明明;黄全振; |
| 关键词：光学薄膜;杂质粒子;热力学效应;激光等离子体 |
| 主要内容：激光对光学薄膜的损伤仍然是限制高能激光系统的主要挑战。对杂质诱导薄膜损伤的激励进行了研究:首先对损伤形貌进行了观测,在此基础上对杂质对薄膜的作用效应进行了分析。研究结果表明:杂质粒子对薄膜产生的各种效应,主要分为热力学效应、散射引起干涉效应和激光等离子体破坏I |
| 《红外与激光工程》 2016(7).132-137 |
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