| 载纳米金属氧化物壳聚糖复合膜研究进展 |
| 张仁辉;鲁志斌;王立平; |
| 关键词：摩擦系数;类金刚石;载荷;Raman;XPS |
| 主要内容：采用等离子体增强化学气相沉积系统成功制备氟硅共掺杂类金刚石薄膜,采用Raman,XPS对膜层结构与成分进行表征.采用划痕仪对膜层的结合力进行了测试.摩擦测试结果显示,在载荷范围为1~6 N时,膜层具有低摩擦系数(0.05~0.1);在载荷大于6 N时,摩擦系数在0.2~0.27之间.对偶磨斑的光学 |
| 《摩擦学学报》 2016(1).84-91 |
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