| 制备工艺对溶胶-凝胶法制备BeFeO_3薄膜的影响 |
| 李三喜;宋德智;张文政;王趱;李天生; |
| 关键词：铁酸铋薄膜;退火温度;保温时间;微观形貌;铁电性能 |
| 主要内容：利用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/Si O2/Si基体上制备了BiFeO_3薄膜,构架了Pt/BiFeO_3/Pt电容器。对不同退火温度和保温时间制备薄膜的微观形貌和铁电性能做了研究。X射线衍射仪(XRD)结果显示,不同的退火温度和保温时间并没有改变BiFeO_3(BFO)的钙钛矿结构,但温度的改变会产 |
| 《无机盐工业》 2016(8).43-45+59 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号