产业集群决策
 
阴极磁控溅射镀膜中孤光产生机理及灭弧方法
 
许绍涛 贺诚
关键词：磁控溅射 镀膜玻璃 灭弧装置 辉光放电 光学玻璃
 
主要内容：结合生产实际从理论上分析磁控溅射过程中弧光的产生机理和影响孤光产生的因素并提出在生产实践中行之有效的解决方法。
 
《玻璃》  1997,24(3).-38-41
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