| 减小薄板玻璃工件研磨变形的研究 |
| 杨建东 张心明 |
| 关键词：玻璃 研磨 薄板玻璃 变形 精密加工 显示屏 |
| 主要内容：针对薄板玻璃刚度差，在研磨中易产生变形这一特点，探讨了减小其变形的不同方法，我们和传统的上盘法粘结固定工件进行加工，工件在下盘前面形精度较好，能满足要求（在２５ｍｍ×２５ｍｍ面积上的平面度为０．０５μｍ）但在下盘后产生的变形使其形精度下降，在２５ｍｍ×２５ｍｍ面积上的平面度为０．２μｍ，已不能满足要求，采用真空吸附法国固定工件，消除了工件在粘结过程中由于温度变化产生的变形，而且在研磨过程中又设施减 |
| 《光学技术》 1998(3).-80-81 |
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