| a－Si_（1－x）N_x_H光敏材料的研究 |
| 张志勇 |
| 关键词：光敏材料;非晶硅;感光体 |
| 主要内容：讨论了用射频辉光放电装置制备的掺氮非晶硅（ａ－Ｓｉ＿（１－ｘ）Ｎ＿ｘ：Ｈ）光敏薄膜材料的光电特性。结果表明，合理地控制氮气（Ｎ＿２）与硅烷（ＳｉＨ＿４）气体的流量比例（即Ｖ＿（Ｎ２）／Ｖ）以及其他有关的工艺参数，能够制备出暗电阻率ｐ＿Ｄ＞１ |
| 《西北大学学报(自然科学版)》 1995(03).205-207 |
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