| SnO_2_Pd_Si新气敏特性的研究 |
| 沈 华，吴孙桃，朱文章，许淑恋 |
| 关键词：气敏特性;光伏效应;SnO_2薄膜;异质结 |
| 主要内容：用ＣＶＤ法在（１１１）和（１００）单晶硅衬底上沉积ＳｎＯ２或ＳｎＯ队：Ｐｄ薄膜．在不同温度下，测量ＳｎＯ２／Ｓｉ表面吸附Ｈ２或ＣＯ等还原性气体后光电压的变化．结果表明：ＳｎＯ２：Ｐｄ／Ｓｉ的光电压变化，可以灵敏检测Ｈ２、ＣＯ等气体，讨论了Ｓ |
| 《厦门大学学报(自然科学版)》 1996(02).199-203 |
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