| Ta_2O_5薄膜的离子敏感特性 |
| 吴冲若，刘刚，林海安，邱洁真 |
| 关键词：Ta_2O_5薄膜;离子敏感;薄膜电极;稳定性 |
| 主要内容：用磁控溅射法制备了Ｔ０ａ２Ｏ５薄膜，再用Ｃ－Ｖ法和ＪＦＥＴ外接薄膜电极法研究其稳定性和离子响应灵敏度．实验发现，在纯氧中沉积的厚２００ｎｍＴ２Ｏ５薄膜有较高的离子响应灵敏度和良好的稳定性． |
| 《材料研究学报》 1994(05).449-451 |
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