| 溶胶—凝胶法制备的Al_2O_3感温膜及其性质 |
| 陈广文,殷景华,薛占林,桂太龙 |
| 关键词:溶胶—凝胶法;电泳工艺;Al_2O_3薄膜;湿敏性 |
| 主要内容:用溶胶—凝胶方法,采用电泳工艺在Al基片上制成Al2O3薄膜.膜物质主要是非晶态,但含有少量微晶.随着热处理温度的升高,进晶含量增加,这种湿敏膜在中,高湿区有良好的感湿性能. |
| 《材料研究学报》 1995(03).255-258 |
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