微材料学与形状记忆合金薄膜
 
千东范

关键词:微材料学;微机械;微材料;体材料;微驱动器;环境效应;尺寸效应;工艺效应;NiTi记忆合金薄膜
 
主要内容:概述了微材料学产生的历史背景、微材料学基本概念、微材料分类、微驱动器特性以及NiTi形状记忆合金薄膜的研制现状、特性及微器件。
 
《稀有金属》  1995(03).211-217
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