| 基于半导体工艺的微型光器件制造技术 |
| 关键词： |
| 主要内容：在光学器件制造领域,人们一直试图将光放大器、激光器、隔离器、光开关、滤光器和可调性等器件或功能集成在一个光模块上,并用现有的半导体制造工艺技术实现光器件的大批量生产,从而大幅度降低光学器件的成本。本文概要介绍了亚波长光学器件(SOE)制造技术,它向人们展示了微型光通信器件制造技术的重大变革,值得引起中国电子行业的密切关注... |
| 《飞达光学网》 |
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