| 一种采用快速半导体线光源的阴影莫尔测量方法 |
| 李根乾[1] 谭玉山[2] |
| 关键词：半导体线光源 阴影莫尔测量 变光源 |
| 主要内容：物体三维轮廓、形变、振动、位移等参量的光电测量方法，以其非接触、高精度、高灵敏度以及易于实现自动测量等优点，而被广泛地应用。本文设计并实现了一种快速半导体线光源，提出了一种快速变光源阴影莫尔物体轮廓测量法，大大提高了阴影莫尔测量的速度和精度，实现了非接触、无机械运动、无运行噪声、全光电测量的IC形变测量与分析系统。该系统的3σ重复精度为10μm。 |
| 《光子学报》 2000,29(Z01).-381-385 |
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