| 分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究 |
| 谢传钵 |
| 关键词：分步重复光刻机 工件台 精密定位 投影光刻机 |
| 主要内容：介绍了“１．５－２微米实用型分步重复投影光刻机”用的精密快速定位工台的设计，结构特点，精度分析，检测及使用情况。工件台由大行程Ｘ－Ｙ工件台，微动台和调平微转台组成。同时该工件台利用大行程Ｘ－６工件台粗动兼微动与调平微转台的组合完成了“１０：１分步重复投影光刻机”的研制。 |
| 《光电工程》 1996,23(4).-65-72 |
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