| 用于X光成像系统像传递函数的Al静态成像靶 |
| 徐平 陆卫昌 |
| 关键词：静态成像靶 热蒸发 光刻技术 X光成像系统 |
| 主要内容：介绍用热蒸发结合光刻技术以及离子束刻蚀或低磷酸腐蚀的方法，制备用于测量Ｘ光成像系统像传递函数的Ａｌ静态成像靶的工艺，对两种腐蚀工艺进行了比较，确定了郭束刻蚀是获得所需图形的理想方法，经扫描电镜（ＳＥＭ）和台阶仪测量，Ａｌ静态成像靶的参数满足实验要求。 |
| 《同济大学学报：自然科学版》 2000,28(5).-572-574 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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