| 多能谱电子束能量分布的蒙特卡罗模拟和空间电荷效应 |
| 康念坎 夏善红 |
| 关键词：多能谱电子束 蒙特卡罗模拟 空间电荷效应 |
| 主要内容：利用电子束穿越固体薄膜时，束电子与固体中的原子或电子之间的相互作用而产生能量改变，是获取多能谱电子束的一种方便可行的理想途径，通过改变薄膜材料或组份，薄膜厚度以及入射电子束的能量和方向等，可以得到各种不同能量分布的电子束。为了预测多能束的能量分布，我们采用蒙特卡罗模拟计算电子在固体中的散射效应，得到的透射系数和透射电子的能谱与实验测量结果一致，为计算多种能量电子共存空间的电位分布，我们对多能电子束 |
| 《电子科学学刊》 1999,21(4).-522-528 |
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