| GaAs／GaAlAs阴极粘结工艺的X射线双晶衍射测量 |
| 闫金良 向世明 |
| 关键词：砷化镓 阴极 玻璃 X射线双晶衍射 光电子学 |
| 主要内容：分析了ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ阴极粘结工艺中应力产生的根源和晶体中应力对Ｘ射线双晶衍射峰的宽度和强度的影响。用Ｘ射线双晶衍射仪测量了阴极和玻璃热粘结工艺过程中阴极材料外延层和衬底的双晶回摆曲线。 |
| 《红外技术》 1998,20(2).-33-37 |
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