Si基光电子学研究进展
 
余金中

关键词:光电子学 光电集成 异质结构 硅
 
主要内容:作为“第二代硅”Si基异质结材料为世人所瞩目,Si基光电子器件及光电集成(OEIC)是当前世界范围的热门课题,本文综述Si基异质材料的外延生长和特性,Si基光电子器件的结构和性能及其应用,着重介绍SiGe/Si的研究进展。
 
《半导体杂志》  1998,23(1).-21-32
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