产业集群决策
 
微米亚微米光栅的矢量衍射特性研究
 
郑师海 李德华
关键词：微米 光栅 矢量 衍射
 
主要内容：本文应用微电子制板和离子刻蚀技术，研制成功凹槽光栅结构接近可见光波长的一组矩形光栅，进行了衍射特性与刻蚀周期，深度关系的实验，得到了与矢量藕合波理论计算一致的结果。
 
《光电子．激光》  1997,8(1).-25-28
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