| i—line光刻高无效照明系统光能分布的计算模拟 |
| 周崇喜 林大键 |
| 关键词：分步重复光刻机 照明光学 光能分布 计算机模拟 |
| 主要内容：叙述了ｉ－ｌｉｎｅ光刻高均匀照明系统的均匀照明原理，以及其具有特殊面形、特殊结构、超光学表面的光学系统光能分布计算模拟的原理、方法。作为例子，用编写的程序计算模拟了我们近来设计的一曝光系统几个重要光学表面上具有权重的点列图和光能分布曲线。 |
| 《光电工程》 1996,23(2).-1-6 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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