| 微米亚微米矩形光栅衍射特性的实验研究 |
| 郑师海 戴伦 |
| 关键词：光栅 矩形光栅 衍射 微米 亚微米 |
| 主要内容：本文应用微电子制板技术、电子束扫描曝光和离子刻蚀技术研制成功微米、亚微米级宽度的矩形光栅结构，并对其进行了衍射特性的研究。实验测试数据表明了当光栅的周期接近使用的照明光的波长时，具有明显的矢时衍射特性。 |
| 《光电子．激光》 1995,6(6).-324-327 |
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