| 具有广泛应用前景的微光机电系统 |
| 王跃林 |
| 关键词： |
| 主要内容：微光机电系统(MicroOpticalElectronicMechanicalSystem,MOEMS)是以批量化的微电子技术为基础,通过各向异性腐蚀、各向同性腐蚀、牺牲层腐蚀、键合等技术制造出各种微机械结构,并使之与电路相集成,组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的微系统。微光机电系统可以包括微米尺度的机械、电子、光学、磁学和化学等元器件,是一个将微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源融为一体的微型系统... |
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