| 微型薄膜集成氢气敏感器件的研制 |
| 谢贵久 刘利民 何迎辉 贾京英 景涛 |
| 关键词：氢气氢敏 薄膜 PdCr合金 Pt 二极管 电阻 溅射 |
| 主要内容：采用将类光激发二极管（即N-Si/Thin-SiO2/Thin-Ta/PdCr/Pt结构）、PdCr合金薄膜电阻、Pt加热和感温双电阻温控系统等集成的方式,研制了微型薄膜集成氢气敏感器件,能稳定测量0~2%体积分数的氢气,且具有较快的响应和恢复时间。 |
| 《微处理机》 2011,32(2).-17-19 |
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