| 新基于硅MEMS敏感结构的光学检测声传感器 |
| 王伟 栾剑 史鑫 陈信琦 |
| 关键词：MEMS 光学检测 声传感器 灵敏度 |
| 主要内容：介绍了一种基于硅基MEMS敏感结构的光学式声传感器,对其工作原理及设计进行了分析与研究,尤其是对感声膜结构,提出将波纹结构引入到传统硅基平膜芯片中,利用MEMS技术制作具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片,并制作传感器样品。经样品测试,灵敏度达30 mV/Pa。 |
| 《中国电子科学研究院学报》 2011,6(3).-320-323 |
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