| 新基于红外热效应的电容式气体传感器研究 |
| 张正勇[1,2,4] 杨地委[1,2,3,4] |
| 关键词：气体传感器 红外热效应 电容 红外差分吸收 |
| 主要内容：提出了一种利用气体吸收红外并产生热效应现象检测气体的方法,设计并制造了一种红外电容式气体传感器。该气体传感器采用在密封气室中密封纯净的被测气体,利用被测气体吸收红外的热效应并由此产生压力变化,该压力变化转换为弹性应变膜的应变致使平板电容器的电容变化,由于环境中被测气体与密封气室中被测气体对红外的差分吸收,使得电容的变化量与环境中被测气体的体积分数相关。对甲烷气体的实验结果表明：其检测下限为100×10-6,分辨率为50×10-6。 |
| 《传感器与微系统》 2011,30(4).-31-33,36 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号