| 新一种基于MEMS技术的压力传感器芯片设计 |
| 王大军 李淮江 |
| 关键词：压阻式压力传感器 力敏电阻 芯片设计 |
| 主要内容：硅压力传感器是利用半导体硅的压阻效应制成,其品质的优劣主要决定于敏感结构的设计与制作工艺.文章从硅压力传感器敏感薄膜的选择、敏感电阻条的确定以及敏感电阻位置的选取,设计了一种方案并进行了实验验证,得出所设计的压力传感器精度达到0.1%-0.25%F.S. |
| 《吉林师范大学学报：自然科学版》 2011,32(1).-133-136 |
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