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高速并联光学扫描平台设计

李凯格;黄丹;

关键词：扫描;并联机构;PSD传感器;音圈电机

主要内容：提出一种两自由度球面并联机构,并基于该并联机构模型设计了一种高速光学扫描平台。平台采用直线音圈电机作为驱动实现高速运动,以直线光栅传感器和二维PSD传感器作为反馈元件实现双闭环高精度伺服控制,建立扫描

《自动化与信息工程》 2015(3).42897

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