| 基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计 |
| 关键词：射频微机电系统; 滤波器; 共面波导; 阻带; 微尺度效应 |
| 主要内容：应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器。研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF的HFSS软件模拟分析了滤波器的损耗参数,并应用ANSYS软件分析复合结构的热应力分布,得出了阻带中心频率在18GHz的MEMS带阻滤波器件,提供了一些有意义的理论分析及应用... |
| 《《半导体技术》》 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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